鏡片,輸出耦合器和鏡頭
圖1:157nm的激光鏡(AOI = 0°,a)和轉向鏡(AOI = 45°,b)的測量反射率和透射光譜
Ø•激光鏡:AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95%
Ø•轉向鏡(AOI = 45°):
Øo盧比> 97%
Øo Rp> 90%
Øo Rr> 92%
Ø•高品質(zhì)的鏡面基板,窗戶(hù)和CaF2透鏡(157nm準分子級質(zhì)量,SCHOTT AG)
Ø•具有公差的PR涂層
Ø對于R = 10 ... 30%,±2%
Ø對于R = 30 ... 75%,o±3%
Øo±2%,R = 75 ... 90%
Ø•根據要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)客戶(hù)特定部件作為分束器和可變衰減器
圖2:R = 50±3%,R = 25±2%(背面未涂布)的標準輸出耦合器的測量反射光譜
Variable Attenuators
可變衰減器
圖3:不同AOI(a)和透射率與AOI(b)的可變衰減器的測量透射光譜;
在A(yíng)OI = 0°時(shí),透射率從T> 75%變化到AOI = 45°時(shí)的T <5%
F2激光鋁鏡
圖4:受保護的Al鏡(a)的反射光譜和157nm的增強型Al鏡(b)
受保護的鋁鏡(針對157nm進(jìn)行了優(yōu)化):R = 74 ... 78%
電介質(zhì)增強型鋁鏡:AOI = 0°時(shí)R = 94%
有關(guān)Al鏡的更多信息,請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁(yè)。
標準F2激光元件的技術(shù)參數
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
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HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) |
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PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 pulses**, no damage |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
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*能量密度:25mJ / cm2,重復頻率:800Hz,脈沖持續時(shí)間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
**能量密度:15mJ / cm 2, 速率:200Hz,脈沖持續時(shí)間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試
***能量密度:20 mJ / cm2, 速率:50Hz,脈沖持續時(shí)間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試
反射鏡,輸出耦合器和鏡頭
圖1:隨機的193nm的轉向鏡(AOI = 45°)的測量反射率和透射光譜
偏振光(a)和兩面用氟化AR涂層涂覆193nm的CaF 2窗(b)
•所有氟化物系統都能保證高反射率和高損傷閾值
•PR涂層,公差為:
對于R = 10 ... 30%,±2%
對于R = 30 ... 75%,±±3%
對于R = 75 ... 90%,±±2%
o±1%,R> 90%
•高品質(zhì)的鏡面基板,窗口和CaF2(193nm準分子級,肖特公司)鏡頭和熔融石英
•根據要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)客戶(hù)特定的組件,如分束器和可變衰減器
•在A(yíng)OI = 0°時(shí)殘余反射率R <0.25%,AOI = 45°時(shí)R <0.6%的單波長(cháng)AR涂層(非偏振光)
•寬帶和多波長(cháng)AR涂層
可變衰減器
圖2:不同AOI(a)和透射率與AOI(b)的可變衰減器的測量透射光譜;
在A(yíng)OI = 0°時(shí),透射率從T> 88%變化到AOI = 45°時(shí)的T <2%
•根據要求具有不同傳輸范圍的衰減器
•衰減器可以交付熔融石英的CaF2的AR涂層補償板
鋁反射鏡
圖3:針對193nm(a)優(yōu)化的受保護的Al鏡的測量反射光譜
和193nm的增強型Al鏡,AOI = 45°(b)
增強鋁鏡: | Rp > 93% |
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For more information on Al mirrors see pages 96 – 97 in our catalog. |
標準ArF激光元件的技術(shù)參數
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
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Fluoride coatings |
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AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 |
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PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses*** |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses***, no damage |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 |
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Oxide coatings |
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HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
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1)1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測量
2)能量密度:18mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時(shí)間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試
3)能量密度:55mJ / cm 2,重復率:1kHZ,脈沖持續時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
4)能量密度:27mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時(shí)間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試
5)能量密度:80mJ / cm 2,重復頻率:1kHz,脈沖持續時(shí)間:12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
Mirrors and Partial Reflectors
•HR空腔和轉向鏡,AOI = 0°時(shí)R> 99.9%,對于s-和p-偏振光,AOI = 45°
•典型反射率:R> 99.95%
•對于特殊要求,我們保證R> 99.99%(帶腔環(huán)測量的交貨)
•光譜帶寬約70 nm,1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2(cw)和> 50J / cm2(10 ns)
圖1:具有不同程度的反射率的高功率腔鏡(a)和輸出耦合器的反射光譜(b)
光束分離器和輸出耦合器具有調節的反射率
Reflectance | Tolerance |
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95% | ± 1% |
R = 10 ... 80% | ± 2% |
•泵鏡HR(0°,1064 nm)> 99.9%+ R(0°,808 nm)<2%
•分束器,光束組合器和掃描鏡
•Nd:YAG / Nd:YVO4激光器的諧波光學(xué)在這里和這里(也在我們的目錄中的第40-45頁(yè))
圖2:s - ,p - 和隨機極化的導向反射鏡HR(1064 nm)+ PR(630 - 670 nm)的反射光譜
在A(yíng)OI = 45°(a)和不同AOI處的隨機極化(用作掃描鏡)(b)
薄膜偏光鏡
•光的s和p偏振分量的分離(s偏振光被反射并且p偏振光被透射)
•可以為AOI> 40°生產(chǎn)TFP,但是如果使用AOI≈55°(布魯斯特角),則極化有效,出現在寬波長(cháng)范圍
•典型偏振比:AOI = 45°或55°時(shí),Tp / Ts> 500
•具有Tp / Ts10000的極化比的特殊設計是可能的
•高激光損傷閾值(對腔內應用有用)
•通過(guò)改進(jìn)的空腔環(huán)形設置可以高精度地測量用于p偏振光的薄膜偏振器的透射
圖3:對于s和p偏振光,AOI = 55°(布魯斯特角)的標準TFP的反射光譜
非極化光束分離器
•對于A(yíng)OI = 45°的Rs?Rp(| Rs-Rp | <1.5%)和不同程度的反射率的分束器
•常見(jiàn)的類(lèi)型:
o Rs,p = 66±1%
o Rs,p = 50±2%
o Rs,p = 33±3%
•所有非極化分束器,后側AR(Rs?Rp≤0.6%)
圖4:3種非極化光束分離器的反射光譜(AOI = 45°)
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